快科技8月14日音讯，据报道，近来全国首台国产商业化电子束光刻机在杭州正式露脸，这台设备由浙江大学余杭量子研究院自主研制，型号为“羲之”，已完结研制并进入使用测验阶段。 &ld

  快科技8月5日音讯，近来，璞璘科技自主规划研制的首台PL-SR系列喷墨步进式纳米压印设备，顺畅经过检验，并交给至国内特征工艺客户，开始完结贮存芯片、硅基微显、硅光、先进封装等芯片研制验证。